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                耐腐蝕離心泵改進的真空系統
                來源:www.yvettesblogs.com 發布時間:2015-01-14 10:11
                耐腐蝕離心泵改進的真空系統
                  考慮到正常拉晶時爐膛內的真空度一般維持在(2.7~5.3)×103 Pa,雙級的水環泵完全可以達到這個要求,因此改進的真空系統主泵采用水環泵;開始拉晶前要求爐膛內的極限真空度達到6.67Pa以下的任務將由副泵來完成,因此副泵仍采用滑閥泵。改進的真空系統見圖2。其工作原理是在開始工作時,拉伸腔和爐膛之間的隔離閥是打開的,副滑閥耐腐蝕離心泵7通過旁路真空球閥3將拉伸腔和爐膛內氣體抽出,要求爐膛內的極限真空度達到6.67Pa以下,檢查爐膛的密封性符合拉晶工藝要求;然后開始正常拉晶,氬氣通過質量流量控制器9,上部氬氣閥門4 通入拉伸腔至爐膛,關閉旁路真空球閥3和副滑閥耐腐蝕離心泵7,
                打開主水環泵8 通過主真空球閥1 抽氣,這時可以保證爐膛內真空度保持在(2.7~5.3)×103Pa。當拉晶過程中需要打開拉伸腔時,操作和原來的真空系統一樣,先打開下部氬氣閥門6,關閉上部氬氣閥門4 ,才能關上隔離閥,然后打開中部氬氣閥門5 向拉伸腔充氣至大氣壓后,才能關閉中部氬氣閥門5,打開拉伸腔;操作完畢后關上拉伸腔,就需要用副滑閥泵7 通過副真空球閥2 將拉伸腔抽至與爐膛接近的真空度,才能關閉副真空球閥2 和副滑閥泵7,打開隔離閥,然后打開上部氬氣閥門4,關閉下部氬氣閥門6,回到正常拉晶狀態。
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