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                什么是干式真空泵
                來源:www.yvettesblogs.com 發布時間:2017-10-26 15:53

                  干式真空泵式指泵能從大氣壓下開始抽氣,又能將氣體直接排到大氣中去,泵腔內無油或其他工作介質,而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或接近的機械真空泵。

                  目前,大多數機械真空泵都是用油、水或其他流體充當泵的工作介質,在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科技發展及真空應用領域的擴大,原有的真空泵出現了兩個急需解決的問題:一是泵的工作解釋返流污染被抽容器,在許多情況下影響產品的質量、數量,增加設備的維護成本;其次,由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質,是泵不能正常工作。這時就要用到干式真空泵。

                  干式真空泵的應用主要有以下幾個方面:

                  1.低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝

                  2.半導體刻蝕工藝,在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。

                  3.除半導體工藝外某些產生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求。

                  4.在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵。

                  5.用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。

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